特許

J-GLOBAL ID：200903060949543950

パルスビーム発生装置

発明者： 小林 峰 ,  青野 正和
出願人/特許権者： 理化学研究所
代理人 (1件)： 須山 佐一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-187446
公開番号（公開出願番号）：特開平5-036374
出願日： 1991年07月26日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：

【要約】【目的】 従来に較べてパルス幅の短いパルスビームを生成することのできるパルスビーム発生装置を提供する。【構成】 チョッピングアパーチャー12はイオンビーム15の通過を制限するようにスリット状に構成されており、チョッピング用偏向器11による偏向がほぼ零となった瞬間のみイオンビーム15を通過させ、これによってパルスビームを形成するよう構成されている。時間収束用偏向装置13a、13bは、チョッピングアパーチャー12を通過したイオンを、電場によって偏向し、速度の異なるイオンが、それぞれ異なる軌跡を描くように旋回させて、これら速度の異なるイオンがターゲット14に到達する時間差を短縮するよう構成されている。

請求項（抜粋）：

荷電粒子をビーム状に射出する荷電粒子源と、前記荷電粒子源から射出された荷電粒子を制限するためのチョッピングアパーチャーと、前記荷電粒子源と前記チョッピングアパーチャーとの間に配置され、該チョッピングアパーチャーから荷電粒子がパルス状に導出されるように前記荷電粒子源からの荷電粒子を走査する如く偏向するチョッピング用偏向器と、前記チョッピング用偏向器を通過した後の荷電粒子を、磁場または電場によって偏向し、速度の異なる荷電粒子が、それぞれ異なる軌跡を描くように旋回させて、これら速度の異なる荷電粒子がターゲットに到達する時間差を短縮する時間収束用偏向手段とを具備したことを特徴とするパルスビーム発生装置。