特許

J-GLOBAL ID：200903060954154740

チタンまたはチタン合金のエッチング方法

発明者： 高橋 健一 ,  木暮 直毅
出願人/特許権者： 三菱瓦斯化学株式会社
代理人 (1件)： 永井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-200515
公開番号（公開出願番号）：特開2004-043850
出願日： 2002年07月09日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】チタンまたはチタン合金の表面スケール除去と平滑化を同時に行うためのエッチング方法を提供する。【解決手段】(a)過酸化水素5〜30重量、(b)フッ化物1〜20重量、(c)硫酸、硝酸及び燐酸から選ばれた少なくとも一種を1〜10重量%、並びに(d)フッ素系界面活性剤0.001〜0.1重量%を含有し、且つ[(a)過酸化水素濃度]/[(b)フッ化物のフッ素濃度]が重量比で1.5〜3.0である水溶液で処理することを特徴とするチタンまたはチタン合金のエッチング方法。

請求項（抜粋）：

(a)過酸化水素5〜30重量、(b)フッ化物1〜20重量、(c)硫酸、硝酸及び燐酸から選ばれた少なくとも一種を1〜10重量%、並びに(d)フッ素系界面活性剤0.001〜0.1重量%を含有し、且つ[(a)過酸化水素濃度]/[(b)フッ化物のフッ素濃度]が重量比で1.5〜3.0である水溶液で処理することを特徴とするチタンまたはチタン合金のエッチング方法。

IPC (2件)：

C23F1/26 ,  C23G1/10

FI (2件)：

C23F1/26 ,  C23G1/10

Fターム (24件)：

4K053PA09 ,  4K053QA01 ,  4K053RA05 ,  4K053RA13 ,  4K053RA15 ,  4K053RA16 ,  4K053RA17 ,  4K053RA18 ,  4K053RA25 ,  4K053RA44 ,  4K053RA51 ,  4K053RA64 ,  4K053SA06 ,  4K053YA03 ,  4K057WA01 ,  4K057WA04 ,  4K057WB08 ,  4K057WE02 ,  4K057WE03 ,  4K057WE07 ,  4K057WE25 ,  4K057WE30 ,  4K057WF01 ,  4K057WG03