特許
J-GLOBAL ID：200903060963722590
イオン加速電極板およびその製作方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-105217
公開番号（公開出願番号）：特開平6-314600
出願日： 1993年05月06日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：
【要約】【目的】 ビーム孔近傍を任意に冷却できる冷却経路を有し、冷却性能が高く、耐久性ならびに耐食性の優れたイオン加速電極板およびその製作方法を提供する。【構成】 多数の溝3を形成した溝付きタンタル板1の上にチタン箔4を介して平板タンタル板2を重合し、これらを拡散接合する。次に、この電極板の表面と交差する方向に沿い冷却孔と隣接する位置にビーム孔5を穿設する。
請求項（抜粋）：
イオンビームを通過させる多数のビーム孔をその表面と交差する方向に有し、高電圧の印加により、前記ビーム孔を通過するイオンビームを加速するイオン加速電極板において、タンタル板の拡散接合により一体化された重合板構造とすると共に、その重合面に沿う配置で前記ビーム孔と隣接する管状空間からなる冷却水流通用の冷却孔を備えることを特徴とするイオン加速電極板。
IPC (5件)：
H05H 5/02
, G21K 1/00
, H01J 27/08
, H01J 37/08
, H05H 1/22
