マイクロアクチュエータ装置及びこれを用いた光スイッチシステム

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：四宮通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-298902
公開番号（公開出願番号）：特開2004-130466
出願日： 2002年10月11日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：

【課題】高い電圧をかけたり小型化を損なったりすることなく、可動部の可動範囲を広げ、かつ、消費電力を低減し、しかも、長期的に動作させたときの信頼性を高める。【解決手段】可動板21は、フレクチュア部27a,27bを介して基板11に固定され、基板11に対して上下動し得る。基板11は固定電極を兼用する。可動板21は、基板11との間の電圧により基板11との間に静電力を生じ得る第2の電極部23a,23bと、磁界内に配置されて通電によりローレンツ力を生ずる電流経路25と、を有する。光路に進出及び退出するミラー12が、可動板21に設けられる。制御部は、可動板21を静電力が増大する下側位置から上側位置へ移動させる際に、可動板21が中間位置から上側位置に移動する間に、前記ローレンツ力が下向きに生じかつ漸減するように、前記電流を制御する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

マイクロアクチュエータと、磁界発生部と、制御部とを備えたマイクロアクチュエータ装置であって、前記マイクロアクチュエータは、固定部と、該固定部に対して移動し得るように設けられた可動部と、を有し、前記固定部は第1の電極部を有し、前記可動部は、前記第1の電極部との間の電圧により前記第1の電極部との間に静電力を生じ得る第2の電極部と、磁界内に配置されて通電によりローレンツ力を生ずる電流経路と、を有し、前記磁界発生部は前記磁界を発生させ、前記可動部は、前記静電力が増大する第1の位置と前記静電力が低下又は消失する第2の位置との間を移動し得るとともに、前記第2の位置に復帰しようとする復帰力が生ずるように、設けられ、前記電流経路は、前記第1の位置から前記第2の位置へ向かう方向及びその逆方向にローレンツ力を生じ得るように、配置され、前記制御部は、前記第1及び第2の電極部間の電圧並びに前記電流経路に流れる電流を制御し、前記制御部は、前記可動部を前記第1の位置から前記第2の位置へ移動させる際に、前記可動部が少なくとも前記第1の位置と前記第2の位置との間の途中から前記第2の位置付近に移動する間に、前記ローレンツ力が前記第2の位置から前記第1の位置へ向かう方向に生じかつ漸減するように、前記電流を制御する、ことを特徴とするマイクロアクチュエータ装置。

IPC (3件)：

B81B3/00 , B81B7/04 , G02B26/08

FI (3件)：

B81B3/00 , B81B7/04 , G02B26/08 E

Fターム (9件)：

2H041AA14 , 2H041AA15 , 2H041AA16 , 2H041AA17 , 2H041AB13 , 2H041AC04 , 2H041AZ01 , 2H041AZ05 , 2H041AZ08

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