特許

J-GLOBAL ID：200903060971957024

表面形状測定装置

発明者： 高橋 悟
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  アキタ電子株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-127119
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322529
出願日： 1992年05月20日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：

【要約】【目的】 物体の表面形状測定における死角の発生を低減できるようにする。【構成】 半導体レーザー9によってレーザー光を発生し、これをコリメートレンズ10及びピンホール12を経て回転ミラー14へ入光させ、この回転ミラー14で一次元走査されたレーザービームをアクロマートレンズ20及び絞り21を介して被測定物体上へ垂直に投光し、この投光に対する2つの反射光の各々を平面ミラー25,27及び平面ミラー26,28からなる2つの光学系によりアクロマートレンズ20へ導き、各反射光を回転ミラー14へ合焦させ、その反射光の各々を平面ミラー29,31及び平面ミラー30,33を経由してPSD32,34に結像させる。

請求項（抜粋）：

レーザー光を発生する光源と、該光源からのレーザー光に対し回転に応じた一次元の走査を行う回転ミラーと、該回転ミラーの反射点を焦点位置にして前記回転ミラーの反射光を被測定物体上へ垂直に投光する光学レンズと、個別に光路を形成して前記被測定物体からの2系統の反射光を前記光学レンズへ導く光学系と、該光学系及び前記光学レンズを介し更に前記回転ミラーで反射させて得られた2つの反射光の各々が個別に入光される2つの検出素子とを具備することを特徴とする表面形状測定装置。