特許

J-GLOBAL ID：200903060975480354

円柱形単結晶の製造方法及び装置、並びに半導体ウェ-ハの切断方法

発明者： ハンス・オークラグ ,  ホルガー・ルント ,  クリステャン・アンドレ ,  ヨセフ・フルム
出願人/特許権者： ワッカー・ジルトロニク・ゲゼルシャフト・フュア・ハルブライターマテリアリエン・アクチェンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-155419
公開番号（公開出願番号）：特開2000-026200
出願日： 1999年06月02日
公開日（公表日）： 2000年01月25日
要約：

【要約】【課題】 正確に方位が決められた結晶軸を持つ円柱形単結晶を提供する。【解決手段】 結晶格子、X線光学的にその空間配置が確定される結晶軸及び幾何学的軸を有する半導体材料の円柱形単結晶の製造方法において、a)結晶格子のアライメント誤差が大きくても1.5°に等しい単結晶が製造される工程;b)前記単結晶が、x、y及びz軸からなる直交座標系の2本の軸によって形成される2つの平面に垂直な2本の回転軸に関して回転できるような方法で配置される工程;c)前記結晶軸が、x、y平面に平行で、かつ前記直交座標系のx、z平面に平行になるまで前記2本の回転軸に関して回転する工程;d)パッドが前記単結晶の両端部に装着される工程;並びにe)前記単結晶を研削機のパッドの間にクランプで固定し、その側面が該単結晶の特定の直径になるまで前記2本の結晶軸に関して回転して研削する工程から成ることを特徴とする前記方法。

請求項（抜粋）：

結晶格子、X線光学的にその空間配置が確定される結晶軸及び幾何学的軸を有する半導体材料の円柱形単結晶の製造方法において、a)結晶格子のアライメント誤差が大きくても1.5°に等しい単結晶が製造される工程;b)前記単結晶が、x、y及びz軸からなる直交座標系の2本の軸によって形成される2つの平面に垂直な2本の回転軸に関して回転できるような方法で配置される工程;c)前記結晶軸が、x、y平面に平行で、かつ前記直交座標系のx、z平面に平行になるまで前記2本の回転軸に関して回転する工程;d)パッドが前記単結晶の両端部に装着される工程;並びにe)前記単結晶を研削機のパッドの間にクランプで固定し、その側面が該単結晶の特定の直径になるまで前記2本の結晶軸に関して回転して研削する工程から成ることを特徴とする前記方法。

IPC (3件)：

C30B 33/00 ,  G01N 23/20 ,  H01L 21/304 611

FI (3件)：

C30B 33/00 ,  G01N 23/20 ,  H01L 21/304 611 B