特許
J-GLOBAL ID：200903060980679568
形状測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-189462
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038556
出願日： 1996年07月18日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】 高精度なプローブの位置の原点出しを短時間で行うことができる形状測定装置を提供する。【解決手段】 切欠部3bに取り付けられた球面レンズ30に対し垂直な光を照射し、球面レンズ30の球心31と互いに共役な共役点32に焦点を形成する光学系10を備え、切欠部3bから球面レンズ30を除去した状態において共役点32と同一点に焦点を形成するようにルビー球1Aを位置させ、その時のルビー球1Aの位置を基準としてルビー球1Aにより被測定物2の表面を走査する。
請求項（抜粋）：
被測定物が設置される回転可能に設けられた測定台と、前記測定台により回転された前記被測定物の表面に接触可能に設けられた一定の曲率半径を有する反射体と、前記被測定物に接触した前記反射体の運動を計測する計測手段と、前記測定台の回転軸上に球心が位置するように球面状の基準反射面を取り付ける基準反射面取付部と、前記基準反射面取付部に取り付けられた前記基準反射面に対し垂直な光を照射し、前記基準反射面の球心と互いに共役な共役点に焦点を形成する光学系とを備え、前記基準反射面取付部から前記基準反射面を除去した状態において前記共役点と同一点に焦点を形成するように前記反射体を位置させ、その時の前記反射体の位置を基準として前記反射体により前記被測定物の表面を走査することを特徴とする形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 21/20 P
, G01B 11/27 Z
