特許

J-GLOBAL ID：200903060993083796

洗浄方法

発明者： 小布施 洋 ,  古川 清治 ,  石堂 史子
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-082304
公開番号（公開出願番号）：特開平10-251690
出願日： 1997年03月14日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：

【要約】【課題】フロン代替洗浄剤である炭化水素系溶媒と金属イオンに配位し得る有機化合物を含有する洗浄剤組成物で洗浄したのち、洗浄される物品の表面に付着している洗浄剤組成物を短時間に除去して、優れた即乾性と清浄仕上げを可能とする洗浄方法を提供する。【解決手段】炭化水素系溶媒と金属イオンに配位し得る有機化合物を含有する洗浄剤組成物で洗浄した物品を、構成元素が炭素、水素及びフッ素である溶媒、又は、炭素、水素、フッ素及び酸素である溶媒を用いて蒸気洗浄することを特徴とする洗浄方法。

請求項（抜粋）：

炭化水素系溶媒と金属イオンに配位し得る有機化合物を含有する洗浄剤組成物で洗浄した物品を、構成元素が炭素、水素及びフッ素である溶媒、又は、炭素、水素、フッ素及び酸素である溶媒を用いて蒸気洗浄することを特徴とする洗浄方法。

IPC (10件)：

C11D 7/30 ,  B08B 3/08 ,  C11D 7/24 ,  C11D 7/26 ,  C11D 7/32 ,  C11D 7/34 ,  C11D 7/36 ,  C23G 5/032 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 351

FI (10件)：

C11D 7/30 ,  B08B 3/08 A ,  C11D 7/24 ,  C11D 7/26 ,  C11D 7/32 ,  C11D 7/34 ,  C11D 7/36 ,  C23G 5/032 ,  H01L 21/304 341 V ,  H01L 21/304 351 V