特許

J-GLOBAL ID：200903061005466053

光音響ガスセンサ

発明者： 本田 宣昭 ,  藤原 久利 ,  木原 隆
出願人/特許権者： 株式会社山武
代理人 (1件)： 長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-132481
公開番号（公開出願番号）：特開2002-328116
出願日： 2001年04月27日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：

【要約】【課題】 限られた強度の赤外光が照射されるキャビティ内での検出対象ガスによる赤外光の吸収効率を高め、ガス検出感度を高めた簡易な構造の小型の光音響ガスセンサを提供する。【解決手段】 外気を導入するガス通流口20および赤外光導入窓30を備えたキャビティ10と、ガス通流口にキャビティと一体に設けられたポーラスシリコン層からなるガス拡散フィルタ40と、キャビティの内壁面の一部をなして波形形状の第1の電極51を設けて該キャビティ内の音圧を検出するマイクロフォン50と、赤外光導入窓を介してキャビティ内に赤外光をパルス照射する光源60とを具備し、特にキャビティの内壁面のガス通流口および赤外光導入窓を除く領域に、AuやAl等の赤外光反射膜70をコーティングしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

外気を導入するガス通流口および赤外光導入窓を備えたキャビティと、上記ガス通流口に前記キャビティと一体に設けられたガス拡散フィルタと、前記キャビティの内壁面の一部をなして設けられて該キャビティ内の音圧を検出するマイクロフォンと、前記赤外光導入窓を介してキャビティ内に変調した赤外光を照射する光源と、前記キャビティの内壁面の前記ガス通流口および赤外光導入窓を除く領域にコーティングされた赤外光反射膜とを具備したことを特徴とする光音響ガスセンサ。

IPC (2件)：

G01N 29/00 501 ,  G01N 21/00

FI (2件)：

G01N 29/00 501 ,  G01N 21/00 A

Fターム (16件)：

2G047AA01 ,  2G047CA04 ,  2G047EA15 ,  2G047GB11 ,  2G047GD02 ,  2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC04 ,  2G059DD12 ,  2G059DD13 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ02 ,  2G059KK08 ,  2G059LL02 ,  2G059LL03