特許

J-GLOBAL ID：200903061008245910

半導体ウエハのダイシング方法及び該方法に用いる粘着フィルム

発明者： 福本 英樹 ,  藤井 靖久 ,  片岡 真 ,  平井 健太郎
出願人/特許権者： 三井化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-015296
公開番号（公開出願番号）：特開平10-214800
出願日： 1997年01月29日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：

【要約】【課題】 粘着力が経時変化せず、紫外線を照射した際には粘着力が適度に低下する特性を有する粘着フィルムを用いる半導体ウェハのダイシング方法、及び該方法に使用する粘着フィルムを提供する。【解決手段】 基材フィルムの片表面に紫外線硬化型粘着剤層が形成された粘着フィルムを、半導体ウェハの裏面に貼付して半導体ウェハをダイシングし、その後紫外線を照射し、次いで粘着フィルムを剥離する半導体ウェハのダイシング方法であって、該基材フィルムがフタロシアニン系色素を含有し、波長域320〜380nmの全域における光線透過率が60%以下、該波長域の少なくとも一部における光線透過率が20%以上であり、且つ、厚みが30〜500μmである半導体ウェハのダイシング方法、及びその方法に使用する粘着フィルム。

請求項（抜粋）：

基材フィルムの片表面に紫外線照射により硬化する性質を有する粘着剤層が形成された粘着フィルムを、その粘着剤層を介して半導体ウエハの裏面に貼付して該半導体ウエハを素子小片に分割し、分割終了後に該粘着フィルム側から紫外線を照射し、次いで、該粘着フィルムから、素子小片を取り出す半導体ウエハのダイシング方法であって、該基材フィルムが、フタロシアニン系色素を含有し、波長域320〜380nmの全域における光線透過率が60%以下、該波長域の少なくとも一部における光線透過率が20%以上であり、且つ、厚みが30〜500μmであることを特徴とする半導体ウエハのダイシング方法。

IPC (3件)：

H01L 21/301 ,  C09J 5/00 ,  C09J 7/02

FI (3件)：

H01L 21/78 M ,  C09J 5/00 ,  C09J 7/02 Z

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平1-233736
  
• ウエハ貼着用粘着シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-192373   出願人：リンテツク株式会社
• 半導体ウエハの裏面研削方法及び該方法に用いる粘着フィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-325399   出願人：三井東圧化学株式会社