パターン計測装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松本眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-282062
公開番号（公開出願番号）：特開平6-129828
出願日： 1992年10月20日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：

【要約】【目的】正確な高さパターンを得る。【構成】増幅・積分器22Cによる積分は、平均化を行うためのものであり、信号A2は近似的に、所定範囲の電流信号IAを平均化したものの定数倍となる。この積分により、信号A2が信号A0よりも遅延するので、信号A0を遅延回路30Aで遅延させて、信号A1に対応した光点位置と、信号A2に対応した光点の平均位置とを互いに等しくしている。2値化回路28Bの出力が高レベルのとき、すなわち、光点がプリント配線パターン10b上で比較的明るいときには、切換アナログスイッチ32A及び32Bの切り換えにより、A=A1、B=B1となり、2値化回路28Bの出力が低レベルのとき、すなわち、光点が基材10a上で比較的暗いときには、切換アナログスイッチ32A及び32Bの切り換えにより、A=A2、B=B2となる。

請求項（抜粋）：

基材(10a)上にパターン(10b)が形成された試料(10)の該パターンの高さ2値画像を取得するパターン計測装置において、光源(14)と、該光源からの光を該試料上に照射して光点を形成し、該光点を該試料上で走査させる光走査手段(16、12)と、該光点からの光を受光して該光点の明るさCを検出する明るさ検出手段(20、22A、22B、30A、30B、26)と、該光点からの光を受光して(IA-IB)/(IA+IB)が該光点の高さを表す一対の信号IA及びIBを出力する光位置検出手段(20)と、該信号IAを増幅し遅延させ、信号A1として出力する第1増幅・遅延回路(22A、30A)と、該信号IAを増幅し積分し、信号A2として出力する第1増幅・積分回路(22C)と、該信号IBを増幅し遅延させ、信号B1として出力する第2増幅・遅延回路(22B)と、該信号IBを増幅し積分し、信号B2として出力する第2増幅・積分回路(22D)と、該明るさCに基づいて、該信号A1及びB1の組と該信号A2及びB2の組の一方を選択し、信号A及びBとして出力する選択手段(28B、32A、32B)と、該信号AとBとから、高さH=(A-B)/(A+B)を算出する高さ算出手段(24)と、該高さHを2値化レベルHSと比較して2値化する2値化手段(28A)と、を備えていることを特徴とするパターン計測装置。

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