特許

J-GLOBAL ID：200903061015594840

ホットプレートユニット

発明者： 坂口 洋之
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 安富 康男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-041025
公開番号（公開出願番号）：特開2002-246159
出願日： 2001年02月16日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
要約：

【要約】【課題】 抵抗発熱体が形成されたセラミック基板の降温時間を短縮することができるホットプレートユニットを提供すること。【解決手段】 その表面または内部に抵抗発熱体が形成されたセラミック基板と、上記セラミック基板を支持する支持容器とを含んだホットプレートユニットであって、上記支持容器には、吸気ノズルが設けられるとともに、上記吸気ノズルを介して、上記支持容器内の気体を吸引する吸気手段が設けられていることを特徴とするホットプレートユニット。

請求項（抜粋）：

その表面または内部に抵抗発熱体が形成されたセラミック基板と、前記セラミック基板を支持する支持容器とを含んだホットプレートユニットであって、前記支持容器には、吸気ノズルが設けられるとともに、前記吸気ノズルを介して、前記支持容器内の気体を吸引する吸気手段が設けられていることを特徴とするホットプレートユニット。

IPC (6件)：

H05B 3/68 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  H05B 3/16 ,  H05B 3/18 ,  H05B 3/20 393

FI (6件)：

H05B 3/68 ,  H01L 21/68 N ,  H05B 3/16 ,  H05B 3/18 ,  H05B 3/20 393 ,  H01L 21/30 567

Fターム (58件)：

3K034AA02 ,  3K034AA03 ,  3K034AA05 ,  3K034AA08 ,  3K034AA12 ,  3K034AA16 ,  3K034AA19 ,  3K034AA28 ,  3K034AA34 ,  3K034AA37 ,  3K034BA12 ,  3K034BA17 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034BC04 ,  3K034BC12 ,  3K034BC16 ,  3K034CA02 ,  3K034CA15 ,  3K034CA26 ,  3K034DA04 ,  3K034DA05 ,  3K034FA18 ,  3K034GA02 ,  3K034GA03 ,  3K034GA04 ,  3K034GA11 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB08 ,  3K092QB17 ,  3K092QB26 ,  3K092QB43 ,  3K092QB48 ,  3K092QB75 ,  3K092QB76 ,  3K092QC02 ,  3K092QC16 ,  3K092QC52 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF19 ,  3K092RF22 ,  3K092RF27 ,  3K092SS15 ,  3K092TT30 ,  3K092UA05 ,  3K092UA06 ,  3K092VV15 ,  5F031CA02 ,  5F031HA33 ,  5F031HA37 ,  5F031MA26 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA33 ,  5F046KA04