特許
J-GLOBAL ID:200903061022697662

表面欠陥検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小杉 佳男 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-316354
公開番号(公開出願番号):特開平9-159622
出願日: 1995年12月05日
公開日(公表日): 1997年06月20日
要約:
【要約】【課題】鋼板、アルミニウム板、紙などの表面に発生する、幅方向にしわ状に延びた表面欠陥を高精度に検出することのできる表面欠陥検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】A方向に走行する被検査材1表面の幅方向Bの一次元画像を表す一次元画像データを繰り返し生成する一次元撮像器3と、複数の一次元画像データの集合から成る被検査材表面の二次元画像を表す二次元画像データから、被検査材1表面の一部領域の画像データを切り出す領域切出し手段8と、切り出した画像データを幅方向に積分することにより積分データを生成するデータ積分回路9と、その積分データを走行方向に移動平均することにより平滑化データを生成する平滑化手段10と、上記積分データと上記平滑化データとの差分を求めることにより差分データを生成する差分演算手段11と、上記差分データに基づいて被検査材1表面の欠陥を検出する欠陥検出手段12とを備えた。
請求項(抜粋):
所定の走行方向に走行する被検査材表面の、該走行方向に交わる幅方向の一次元画像を表す一次元画像データを繰り返し生成する一次元撮像器と、複数の一次元画像データの集合から成る前記被検査材表面の二次元画像を表す二次元画像データから、該被検査材表面の一部領域の画像データを切り出す領域切出し手段と、切り出した一部領域の画像データを前記幅方向に積分することにより積分データを生成するデータ積分回路と、前記積分データを、前記走行方向に移動平均することにより平滑化データを生成する平滑化手段と、前記積分データと前記平滑化データとの差分を求めることにより差分データを生成する差分演算手段と、前記差分データに基づいて前記被検査材表面の欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えたことを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (3件):
G01N 21/89 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00
FI (3件):
G01N 21/89 B ,  G01N 21/88 J ,  G06F 15/62 400

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