特許

J-GLOBAL ID：200903061023925014

ケミカルメカニカルポリシング装置のキャリアヘッドのデザイン

発明者： マイケル ティー. シャーウッド ,  ハリー キュー. リー ,  ノーム シェンドン ,  セムヨン スペクター
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-322072
公開番号（公開出願番号）：特開平9-168969
出願日： 1996年10月28日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：

【要約】【課題】 ポリシングしようとする基板の表面全体に実質的に均一な圧力を与えるキャリアヘッド。【解決手段】 本発明のキャリアヘッドは、多数のベローズを用いて、ハウジングとキャリアベースと保持リング組立体との間に2つの圧力チャンバを形成するものである。第1のチャンバに圧力を与えることにより、基板の端から端までに一様な負荷を与えることが可能となる。2次チャンバに圧力を与えることにより、保持リングをポリシングパッドに押圧することが可能となる。ベローズによりキャリアベースをハウジングに対して旋回することが可能となるが、第1の圧力チャンバを介して基板に均等に下向きの力がかけられる。トルクが、キャリアハウジングからベローズを介してキャリアベースへと伝達される。

請求項（抜粋）：

ケミカルメカニカルポリシング装置のためのキャリアヘッドであって、駆動シャフトに接続され前記駆動シャフトにより回転されるハウジングと、ポリシングパッドに対して基板を保持するベースと、前記ベースを包囲して前記基板を前記ベースの下に保持する保持リングと、前記ベースを前記ハウジングに接続してこれらの間に第1のチャンバを形成し、且つ、前記保持リングを前記ハウジングに接続してこれらの間に第2のチャンバを形成する、複数のベローズとを備えるキャリアヘッド。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 321 E