特許
J-GLOBAL ID:200903061026362932
放射線検出器
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-148316
公開番号(公開出願番号):特開2001-330676
出願日: 2000年05月19日
公開日(公表日): 2001年11月30日
要約:
【要約】【課題】 小型化と撮像面積の大面積化を両立させ、製作が容易で耐久性を確保できる放射線検出器を提供する。【解決手段】 外部接続用の電極部12とこれに電気的に接続されている電極パッド11とを有する基台1に、複数の光電変換素子21を配置した受光部と、この光電変換素子21に電気的に接続されている電極パッド22とを備える固体撮像素子2を載置し、固体撮像素子2の受光部表面上にはシンチレータ3が形成され、それぞれの電極パッド11、22は配線4により電気的に接続されている。そして、電極パッド11、22と配線4とは保護樹脂層6内に封入され、電気絶縁性の有機膜51がシンチレータ3を密封するとともに、保護樹脂層6を被覆し、さらにその上に金属薄膜52が形成されている。
請求項(抜粋):
複数の光電変換素子を配置した受光部と、前記光電変換素子に電気的に接続されている電極パッドとを備える固体撮像素子と、外部接続用の電極部とこれに電気的に接続されている電極パッドとを有し、前記固体撮像素子をその上に固定している基台と、前記固体撮像素子の受光部表面上に形成されているシンチレータと、前記固体撮像素子と前記基台のそれぞれの電極パッドを電気的に接続する配線と、前記配線を覆う保護樹脂と、少なくとも前記シンチレータと前記保護樹脂を覆って形成されている電気絶縁性の有機膜と、前記有機膜上に形成されている金属薄膜と、を備えている放射線検出器。
IPC (5件):
G01T 1/20
, A61B 6/14 300
, H01L 27/14
, H01L 31/09
, H04N 5/32
FI (6件):
G01T 1/20 B
, G01T 1/20 E
, A61B 6/14 300
, H04N 5/32
, H01L 27/14 K
, H01L 31/00 A
Fターム (42件):
2G088EE03
, 2G088FF02
, 2G088GG20
, 2G088JJ05
, 2G088JJ31
, 2G088JJ33
, 2G088JJ35
, 4C093AA05
, 4C093CA32
, 4C093DA05
, 4C093EB12
, 4C093EB20
, 4M118AA01
, 4M118AA08
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA05
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118CA32
, 4M118CB11
, 4M118FA06
, 4M118FB09
, 4M118GA10
, 4M118GD14
, 4M118HA23
, 4M118HA30
, 5C024AX12
, 5C024BX02
, 5C024CX41
, 5C024CY47
, 5C024EX22
, 5C024GY01
, 5F088AA01
, 5F088AB05
, 5F088BA10
, 5F088BA15
, 5F088BB07
, 5F088EA04
, 5F088EA06
, 5F088JA17
, 5F088LA07
引用特許:
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