特許
J-GLOBAL ID：200903061028247693
アライメント装置及びアライメントマークの検出方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 淳 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-224248
公開番号（公開出願番号）：特開平10-070062
出願日： 1996年08月26日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：
【要約】【課題】 高精度にウエハまたはチップのアライメントマークを検出してアライメントする。【解決手段】 カメラでウエハを撮像し、2値化画像を得る(100、102)。次に画像に対する初期の計測ウインドウを設定し(104)、その計測ウインドウの重心を演算する(106)。次に計測ウインドウがアライメントマークを含む最小のサイズになるまで繰り返し計測ウインドウを縮小して設定し(108、110)、アライメントマークの位置に相当する最小の計測ウインドウで求めた重心の位置を求め、その重心位置を用いてウエハをアライメントするための積層コントローラを制御する(112)。
請求項（抜粋）：
ウエハ上に形成されたアライメントマークを撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像した画像を2値化する2値化手段と、前記2値化手段で2値化された画像に対して所定位置及び所定サイズのウインドウを定め、定めたウインドウ内に含まれる画像の重心の位置を求める重心位置演算手段と、前記重心位置演算手段で求めた重心の位置に基づいて前記ウエハを移動させる動作手段と、を備えたアライメント装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L 21/30 525 P
, G03F 9/00 H
, H01L 21/30 525 W
, H01L 21/30 525 X
