特許

J-GLOBAL ID：200903061037026063

ターボ分子ポンプ

発明者： 山口 均
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-311974
公開番号（公開出願番号）：特開2000-136791
出願日： 1998年11月02日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】 ターボ分子ポンプの補助軸受けの温度上昇を低減する。【解決手段】 電源装置2とポンプ本体3を備える。電源装置2は接続ケーブル6を通してポンプ本体3に電力を供給する。ポンプ本体3は、回転翼を含む回転体を駆動するモータと、回転体を磁気浮上により非接触で支持する磁気軸受け及び機械的に支持する補助軸受けと、補助軸受けを冷却する冷却装置4と、一方の接続端をモータ側に接続する切換装置5とを備える。切換装置5、ポンプ本体3に対する電力供給状態に応じて、他方の接続端を電源装置2又は冷却装置5に切り換えて接続する。ポンプ本体3に対する電力供給が正常な場合には、モータを駆動して回転体を回転させ、ポンプ本体3に対する電力供給が異常な場合には、モータからの回生電力によって冷却装置5を駆動して補助軸受けを冷却する。これによって、補助軸受けの温度上昇を防ぐと共に、回転体の停止時間を短縮する。

請求項（抜粋）：

電源装置とポンプ本体とを備え、前記電源装置は接続ケーブルを通してポンプ本体に電力を供給し、前記ポンプ本体は、回転翼を含む回転体を駆動するモータと、回転体を磁気浮上により非接触で支持する磁気軸受け及び機械的に支持する補助軸受けと、補助軸受けを冷却する冷却装置と、一方の接続端をモータ側に接続する切換装置とを備え、前記切換装置は、ポンプ本体に対する電力供給状態に応じて、他方の接続端を電源装置又は冷却装置に切り換えて接続する、ターボ分子ポンプ。

IPC (3件)：

F04D 19/04 ,  F04D 27/00 ,  F04D 29/04

FI (5件)：

F04D 19/04 H ,  F04D 19/04 B ,  F04D 27/00 C ,  F04D 27/00 N ,  F04D 29/04 R

Fターム (34件)：

3H021AA02 ,  3H021AA08 ,  3H021BA01 ,  3H021BA11 ,  3H021BA16 ,  3H021BA18 ,  3H021BA22 ,  3H021CA00 ,  3H021CA07 ,  3H021DA00 ,  3H021DA04 ,  3H021EA08 ,  3H022AA01 ,  3H022BA06 ,  3H022CA12 ,  3H022CA16 ,  3H022DA01 ,  3H022DA02 ,  3H031DA02 ,  3H031EA01 ,  3H031EA02 ,  3H031EA07 ,  3H031EA09 ,  3H031EA11 ,  3H031EA12 ,  3H031EA13 ,  3H031EA14 ,  3H031EA15 ,  3H031FA00 ,  3H031FA11 ,  3H031FA13 ,  3H031FA35 ,  3H031FA40 ,  3H031FA41