特許
J-GLOBAL ID：200903061037808517
ウエハ搬送装置および方法ならびに半導体露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-087058
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260460
出願日： 1996年03月18日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】 搬送のためにウエハを保持する際の塵埃の発生やウエハへのダメージを防止する。【解決手段】ウエハ載置面上に載置されたウエハ1を、ウエハ載置面と略平行なウエハ保持面上に保持して搬送するウエハ搬送装置において;前記ウエハ保持面の近傍にありかつ前記ウエハ保持面に略平行な検出面上にあるウエハのエッジを検出するために前記ウエハ保持面対して固定して設けられた複数のセンサを有するウエハエッジ検出手段22a〜22d,23a〜23dと;前記ウエハ載置面と前記ウエハ保持面との間の間隔を調整して前記検出面と前記ウエハ載置面とを一致させることにより前記載置面上のウエハを前記検出面上に位置させる調整手段5と;前記ウエハ保持面が前記検出面上に位置しているウエハの方向に移動するに際して前記ウエハエッジ検出手段の各センサがウエハエッジを検出するときの位置に基づいてそのウエハの位置と前記ウエハ保持面上の所定の基準位置との位置偏差を得る位置偏差取得手段と;前記位置偏差に基づいてこのウエハと前記基準位置との位置合せを行なう位置合せ手段3とを具備する。
請求項（抜粋）：
ウエハ載置面上に載置されたウエハを、ウエハ載置面と略平行なウエハ保持面上に保持して搬送するウエハ搬送装置において、前記ウエハ保持面の近傍にありかつ前記ウエハ保持面に略平行な検出面上にあるウエハのエッジを検出するために前記ウエハ保持面対して固定して設けられた複数のセンサを有するウエハエッジ検出手段と、前記ウエハ載置面と前記ウエハ保持面との間の間隔を調整して前記検出面と前記ウエハ載置面とを一致させることにより前記載置面上のウエハを前記検出面上に位置させる調整手段と、前記ウエハ保持面が前記検出面上に位置しているウエハの方向に移動するに際して前記ウエハエッジ検出手段の各センサがウエハエッジを検出するときの位置に基づいてそのウエハの位置と前記ウエハ保持面上の所定の基準位置との位置偏差を得る位置偏差取得手段と、前記位置偏差に基づいてこのウエハと前記基準位置との位置合せを行なう位置合せ手段とを具備することを特徴とするウエハ搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
H01L 21/68 A
, H01L 21/68 F
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 502 J
