特許

J-GLOBAL ID：200903061044911480

光学式振動センサ

発明者： 木村 光照 ,  大澤 理加
出願人/特許権者： 株式会社高岳製作所 ,  木村 光照
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-310148
公開番号（公開出願番号）：特開平5-126624
出願日： 1991年10月30日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：

【要約】【目的】 光ファイバとカンチレバを用いた光学式振動センサにおいて、製造にあたって、先端にレンズを取り付けた光ファイバとカンチレバの位置合わせと、カンチレバ部分の製造を容易にする。【構成】 シリコン基板30の表面30aに、反射膜10を有するカンチレバ20を形成する。また、シリコン基板30にはシリコンの異方性エッチングによって穴を形成し、シリコン基板30の裏面30bから先端にレンズ80を取り付けた光ファイバ60を穴の周面に接するまで挿入して取り付ける。

請求項（抜粋）：

結晶性基板に、その裏面から異方性エッチングにより形成した穴が、表面まで到達し、その結晶性基板の上記表面の穴の中央部に反射膜が位置する状態でカンチレバを形成し、その結晶性基板の上記裏面から上記穴に、先端にレンズを取り付けた光ファイバの上面部を、上記レンズが上記穴の周面に接する位置まで挿入する、光学式振動センサ。