ドレッサー及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-357870
公開番号（公開出願番号）：特開2001-138245
出願日： 1999年11月10日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：

【要約】【課題】研磨パッドのドレッシングを高能率に行うことができ、しかも結合材の溶出によるダイヤモンド砥粒の脱落がなく、ウエハー表面にスクラッチを発生させるおそれのない、ダイヤモンドドレッサー及びその製造方法を提供する。【解決手段】超砥粒層の結合材の主成分を、TiN又はTiCとする。CMP用ダイヤモンドドレッサーとして用いる場合には、結合材に要求される性能が、ダイヤモンド砥粒の保持力だけでなく、耐食性も重要視されるので結合材の主成分である、TiN又はTiCは90%以上とすることが好ましい。

請求項（抜粋）：

台金表面に超砥粒層を有するドレッサーであって、上記超砥粒層の結合材が、主成分として、TiN又はTiCからなることを特徴とするドレッサ。

IPC (5件)：

B24D 3/06 , B24B 53/12 , B24D 3/00 320 , B24D 3/00 340 , B24D 3/02

FI (5件)：

B24D 3/06 A , B24B 53/12 Z , B24D 3/00 320 B , B24D 3/00 340 , B24D 3/02 Z

Fターム (10件)：

3C047EE18 , 3C047EE19 , 3C063BB02 , 3C063BC02 , 3C063BG01 , 3C063BG10 , 3C063CC02 , 3C063CC19 , 3C063CC30 , 3C063EE26

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