特許

J-GLOBAL ID：200903061048264705

化学状態の分析方法

発明者： 飯原 順次
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-283294
公開番号（公開出願番号）：特開平10-111261
出願日： 1996年10月04日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【目的】 原子A、B、Cが存在する試料において、原子AがAB結合しているかAC結合しているか?あるいは結合ABがどれだけの割合で存在するか?を求めること、さらに表面だけでなく試料の内部までの化学状態を調べる。【構成】 X線、陽子線を試料に照射し、外殻軌道内殻軌道間の遷移によるX線強度を測定しこれによってAB結合の存在確率を求めることができる。内殻軌道間の遷移によるX線強度によって割る事によりX線発生装置、分光器の特性によらない相対値を得る事ができる。

請求項（抜粋）：

少なくとも3種類の原子A、B、Cを含む可能性のある試料において、化学結合AB、ACの存在比率を求める方法であって、X線又は陽子線を試料に照射し、原子Aの外殻準位E2 と内殻準位E1 の間の電子遷移によって発生する特性X線の強度を求め、100%AB結合の値Σ(AB)と、100%AC結合の値Σ(AC)を定めておき、任意の化学状態をもつ試料の特性X線のスペクトルから同じ特性X線の強度Σを求めてΣ=bΣ(AB)+cΣ(AC)から(b+c=1)、結合AB:結合ACの比b:cを求めるようにした事を特徴とする化学状態の分析方法。