特許

J-GLOBAL ID：200903061051364427

温度コントロールベースプレート及びその制御方法

発明者： 松田 洋
出願人/特許権者： 日本酸素株式会社
代理人 (1件)： 木戸 一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-267133
公開番号（公開出願番号）：特開2000-095198
出願日： 1998年09月21日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：

【要約】【課題】 環境破壊のおそれのない液化窒素を冷媒として用いた場合においても、設備が大型化することなく、温度分布を小さくすることができる温度コントロールベースプレート及びその温度制御方法を提供する。【解決手段】 温度コントロールベースプレート10を、複数のベースプレート12,14,15を積層して形成する。複数のベースプレートは、試験体11と接し、かつ、ヒーター16を備えたヒータープレート12と、冷媒配管13を設けた冷媒プレート14と、ヒータープレート12と冷媒プレート14との間に積層される熱緩衝プレート15とを含んでいる。

請求項（抜粋）：

宇宙環境試験装置内に設置して試験体に任意の温度環境を提供する温度コントロールベースプレートにおいて、該温度コントロールベースプレートを、複数のベースプレートを積層して形成したことを特徴とする温度コントロールベースプレート。