特許
J-GLOBAL ID：200903061055616803
マスク保護用ペリクル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-061950
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273922
出願日： 1993年03月22日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 ペリクル外部の気圧の変動によってペリクル膜が凸状態となることを防止し、信頼性の高いマスク保護用ペリクルを提供することである。【構成】 ペリクルフレーム11に孔14を形成し、前記ペリクルフレーム11の孔14に対応して弁15を設ける。
請求項（抜粋）：
ペリクルフレームに孔を形成し、前記ペリクルフレームの孔に対応して弁を設けたことを特徴とするマスク保護用ペリクル。
IPC (2件)：
引用特許：
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