特許

J-GLOBAL ID：200903061057157440

IC試験装置及びその装置を用いる試験方法

発明者： 橋本 好弘
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-360498
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241503
出願日： 1999年12月20日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】直流試験と機能試験の切替えを半導体スイッチを用いて行い、かつ、機能試験時にテストパターンの波形に影響を与えることなく直流過負荷試験を可能とする。【解決手段】電圧測定のためのセンス線SENと、電流供給用のフォース線FORのそれぞれを第1スイッチS1及び第2スイッチS2を通じて被試験IC10の端子Pに接続し、機能試験装置40を第3スイッチS3を通じて被試験ICの端子Pに接続して構成されるIC試験装置において、第1乃至第3スイッチS1〜S3を半導体スイッチで構成すると共に第1スイッチS1及び第2スイッチS2の被試験ICの端子Pに接続した端子とは反対側の端子間にオン抵抗が小さい半導体スイッチで構成した第4スイッチS4を接続し、直流試験における過負荷試験時にこの第4スイッチS4をオンに制御して試験を実行する。

請求項（抜粋）：

電圧測定手段と電流源を備えた直流試験装置と、機能試験装置を具備したIC試験装置において、上記電圧測定手段を被試験ICの端子に接続する半導体スイッチで構成された第1スイッチと、上記電流源を上記被試験ICの端子に接続する半導体スイッチで構成された第2スイッチと、上記第1スイッチ及び上記第2スイッチの各上記直流試験装置側との間に接続され、半導体スイッチで構成された第4スイッチを具備することを特徴とする。