特許

J-GLOBAL ID：200903061057643913

ディスペンサ、電気光学装置の製造装置および電気光学装置の製造方法

発明者： 中谷 敏之 ,  佐々木 務
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-271477
公開番号（公開出願番号）：特開2004-109448
出願日： 2002年09月18日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

【課題】高粘度のシール材であってもその吐出速度を早く行えるディスペンサを提供すること。【解決手段】このディスペンサ100では、ボールネジ6とサーボモータ9によりピストン3の移動制御を行うようにする。また、このサーボモータ9は、所定のトルクを確保してシール材Sを吐出可能な圧力を保ち、ピストン3を下降させることでノズル先端11からシール材Sを吐出する。シール材Sの吐出量は、ピストン3の移動量から判断する。ピストン3の移動量は、エンコーダ9aから求める。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

シール材をシリンダスリーブ内に入れ、ピストンの動作により内部のシール材が押されてノズル先端から基板上に当該シール材が吐出されるシリンダー構造であり、シール材を吐出するノズル先端が基板面に対して平行に移動するディスペンサであって、 このディスペンサを構成するシリンダーのピストンの動作をサーボモータにより制御することを特徴とするディスペンサ。

IPC (1件)：

G02F1/1339

FI (1件)：

G02F1/1339 505

Fターム (6件)：

2H089LA41 ,  2H089MA03Y ,  2H089NA42 ,  2H089NA60 ,  2H089QA12 ,  2H089QA14