シミ欠陥の検出方法及び装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：小林久夫 , 安島清 , 佐々木宗治 , 大村昇 , 高梨範夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-056456
公開番号（公開出願番号）：特開2005-249415
出願日： 2004年03月01日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：

【課題】誤検出を防ぎ、シミ欠陥以外の欠陥を検出することなく、コントラストの低いシミ欠陥を正確かつ高精度に自動検出するシミ欠陥の検出方法及びその検出装置を提供する。【解決手段】検査対象の画面を撮像する工程と、撮像により取り込まれた画像から、予め作成しておいた背景画像との差をとる工程と、その背景差分画像の平坦化処理を行う工程と、その平坦化画像から複数段階の縮小画像を作成する工程と、前記縮小画像のそれぞれに対して4つの2次元微分フィルタを用いて欠陥強調のためのフィルタ処理を行う工程と、前記フィルタ処理結果に基づく輝度差(コントラスト)の最小値と、予め設定された階段状のシミ検出閾値とを比較してシミ欠陥を検出する工程とを有する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

検査対象の画面を撮像する工程と、撮像により取り込まれた画像から、予め作成しておいた背景画像との差をとる工程と、その背景差分画像の平坦化処理を行う工程と、その平坦化画像から複数段階の縮小画像を作成する工程と、前記縮小画像のそれぞれに対して4つの2次元微分フィルタを用いて欠陥強調のためのフィルタ処理を行う工程と、前記フィルタ処理結果に基づく輝度差(コントラスト)の最小値と、予め設定された階段状のシミ検出閾値とを比較してシミ欠陥を検出する工程と、を有することを特徴とするシミ欠陥の検出方法。

IPC (4件)：

G01N21/88 , G01M11/00 , G06T1/00 , H04N5/14

FI (4件)：

G01N21/88 J , G01M11/00 T , G06T1/00 305A , H04N5/14 A

Fターム (29件)：

2G051AA90 , 2G051AB20 , 2G051CA04 , 2G051EA08 , 2G051EA23 , 2G051EC01 , 2G051EC03 , 2G051EC05 , 2G051ED03 , 2G086EE10 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CE06 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC22 , 5C021PA38 , 5C021PA53 , 5C021PA56 , 5C021PA72 , 5C021PA75 , 5C021PA80 , 5C021RB03 , 5C021XA03 , 5C021YC06

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開2001-2433473号公報

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