特許

J-GLOBAL ID：200903061060742701

反射屈折光学系

発明者： 大村 泰弘
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-313354
公開番号（公開出願番号）：特開平8-171054
出願日： 1994年12月16日
公開日（公表日）： 1996年07月02日
要約：

【要約】【目的】 像側における大開口数を達成し、像側作動距離を十分に確保した上でビームスプリッタの小型化を図り、クォーターミクロンの解像を得る。【構成】 本発明において、第1面Rからの光は、第1レンズ群G1 、ビームスプリッタBS、拡大倍率の凹面鏡M、ビームスプリッタBS及び第2レンズ群G2 の順に通過して第2面W上に達し、第2面W上には第1面Rの縮小像が形成される。本発明は、上述の構成に基づいて凹面鏡Mの結像倍率の好適な範囲と、第2レンズ群G2 の好適な構成とを見出したものである。

請求項（抜粋）：

第1面の縮小像を第2面上に形成する反射屈折光学系において、第1レンズ群、ビームスプリッタ、拡大倍率を有する凹面鏡及び第2レンズ群を含み、前記第1面からの光を前記第1レンズ群及び前記ビームスプリッタの順に通過させて前記凹面鏡に導くと共に、前記凹面鏡にて反射された前記ビームスプリッタからの光を前記ビームスプリッタ及び前記第2レンズ群の順に通過させて前記第2面に導き、前記第2レンズ群の後側主点位置は前記第2レンズ群の前記ビームスプリッタ側の光線入射面位置よりも像側に位置し、以下の条件を満足することを特徴とする反射屈折光学系。-1<1/β<SB>M </SB><0.50.85<L<SB>1 </SB>/f<SB>2</SB>但し、β<SB>M </SB>:前記凹面鏡の結像倍率、L<SB>1 </SB>:前記後側主点位置と前記光線入射面との距離、f<SB>2 </SB>:前記第2レンズ群の焦点距離、である。