特許

J-GLOBAL ID：200903061063683129

除振装置

発明者： 伊藤 博仁
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-176693
公開番号（公開出願番号）：特開2001-355669
出願日： 2000年06月13日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：

【要約】【課題】 装置構成が簡略化されていて、定常偏差の蓄積を防止すると共に、十分な制振性能を発揮する除振装置を提供する。【解決手段】 次数が1次のハイパスフィルタ160と次数が1次のローパスフィルタ158が直列に接続された出力と、ハイパスフィルタ160と次数が2次のローパスフィルタ159が直列に接続された出力とを加算した信号をフィードフォワードし、該加算された信号がステージ106が駆動していないときには概略0になるように第1および第2のローパスフィルタ158,159のゲインを調整する。さらに、ハイパスフィルタ160と第1および第2のローパスフィルタ158,159の折れ点周波数を、ステージ106の移動による除振台164の傾きを打ち消すように、除振装置の制御周波数よりも低く、かつステージ106が繰り返しステップする際に次のステップまでには出力が減衰するように設定する。

請求項（抜粋）：

除振台と、該除振台上で移動するステージと、該除振台を支持方向に駆動するアクチュエータと、該除振台の位置を計測する変位センサと、該除振台の振動を計測する加速度センサと、該変位センサおよび該加速度センサの出力に基づいて該除振台の振動を抑えるべく該アクチュエータを制御する制御装置とを備え、前記制御装置は、ハイパスフィルタと、第1のローパスフィルタと、第2のローパスフィルタとを介して、前記ステージの駆動時の加速度または加速度目標値をフィードフォワードする手段を有することを特徴とする除振装置。

IPC (5件)：

F16F 15/02 ,  G05B 11/32 ,  G05B 11/36 501 ,  G05D 19/02 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

F16F 15/02 A ,  F16F 15/02 M ,  G05B 11/32 F ,  G05B 11/36 501 E ,  G05D 19/02 D ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 503 F

Fターム (30件)：

3J048AA01 ,  3J048AB08 ,  3J048AB11 ,  3J048AD02 ,  3J048DA01 ,  3J048EA07 ,  3J048EA13 ,  5F046AA23 ,  5F046AA28 ,  5F046DA04 ,  5F046DD06 ,  5H004GA09 ,  5H004GB15 ,  5H004HA07 ,  5H004HA09 ,  5H004HA12 ,  5H004HB07 ,  5H004HB09 ,  5H004HB12 ,  5H004JA03 ,  5H004JA08 ,  5H004JB02 ,  5H004JB19 ,  5H004KB01 ,  5H004KB33 ,  5H004KB39 ,  5H004MA12 ,  5H004MA13 ,  5H004MA42 ,  5H004MA43