特許
J-GLOBAL ID：200903061064200148
搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-152385
公開番号（公開出願番号）：特開平11-345857
出願日： 1998年06月02日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：
【要約】【課題】 大面積薄板構造物を反りの無い状態で保持して搬送することができなかった。【解決手段】 音響管2により増幅された音響エネルギを音響放射板1から放射し、音響放射板1上の被搬送体である薄板構造物6との間に浮揚力を作用させる。この音響管2は少なくとも一つが支持枠5に取り付けられる。支持枠5は、水平および鉛直方向に傾き角を変えることができる。そして薄板構造物6の浮揚量および傾斜度を検知することにより、支持枠5の傾き角を薄板構造物6が安定に保持および案内されるように傾斜制御することができる。
請求項（抜粋）：
音響波が供給され、この音響波を共鳴させる音響共鳴手段と、前記音響共鳴手段の一端に設けられ、前記音響共鳴手段による音響エネルギを、所定の物体に供給する音響エネルギ供給手段と、前記音響エネルギ供給手段の角度を調整する角度調整手段とを有することを特徴とする搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 54/00
