特許
J-GLOBAL ID：200903061068805915
プラズマ測定装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-117915
公開番号（公開出願番号）：特開平7-326491
出願日： 1994年05月31日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：
【要約】【目的】プラズマの中の発光ラジカル・イオンの空間分布を測定し、所望のプラズマを得る。【構造】光ファイバによりプラズマの発光を採光するプラズマ容器の採光部に遮蔽板を設け、遮蔽板と光ファイバ間の距離を変更しないで光ファイバの位置を移動できる構造にし、遮蔽板と光ファイバの間に存在する発光ラジカル・イオンを光ファイバに採光し、光ファイバに接続してある分光器で測定するようにし、プラズマの空間分布の測定を可能にして所望のプラズマを得る。
請求項（抜粋）：
プラズマ装置内に発生したプラズマの発光を採光し該発光の分光を行うための光ファイバおよび分光器を有するプラズマ測定装置において、前記光ファイバ入光部前方に遮蔽板を設け、前記光ファイバ入光部と前記遮蔽板に挟まれた空間に存在するプラズマからの発光を前記光ファイバに入光させ、該入光を前記光ファイバに接続した分光器で分光することを特徴とするプラズマ測定装置。
IPC (5件)：
H05H 1/00
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
, H01L 21/66
, H05H 1/46
