特許
J-GLOBAL ID:200903061087184956
機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法、着弾位置検査装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
落合 稔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-352654
公開番号(公開出願番号):特開2007-152255
出願日: 2005年12月06日
公開日(公表日): 2007年06月21日
要約:
【課題】 検査後の機能液滴吐出ヘッドの取扱いを単純化することができる機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法および着弾位置検査装置、またこの装置により検査合格した機能液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを特徴とする。【解決手段】 機能液滴吐出ヘッド17の吐出検査方法は、導入した機能液を選択的に吐出してワークW'に描画を行う機能液滴吐出ヘッド17の吐出検査方法であって、機能液に代えて機能液に対し親和性の溶剤となる検査液を導入した機能液滴吐出ヘッド17により、検査用ワークWに検査液を吐出・着弾させる吐出・着弾工程と、検査液の吐出・着弾に伴う機能液滴吐出ヘッド17の吐出性能を検査する吐出性能検査工程と、を備えたことを特徴とする。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
導入した機能液を選択的に吐出してワークに描画を行う機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法であって、
前記機能液に代えて、前記機能液に対し親和性の溶剤となる検査液を導入した前記機能液滴吐出ヘッドにより、検査用ワークに前記検査液を吐出・着弾させる吐出・着弾工程と、
前記検査液の吐出・着弾に伴う前記機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する吐出性能検査工程と、を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法。
IPC (5件):
B05D 3/00
, B05D 1/26
, B05C 5/00
, B05C 11/00
, G02B 5/20
FI (5件):
B05D3/00 D
, B05D1/26 Z
, B05C5/00 101
, B05C11/00
, G02B5/20 101
Fターム (22件):
2H048BA11
, 2H048BA64
, 4D075AC07
, 4D075AC73
, 4D075AC84
, 4D075AC86
, 4D075AC93
, 4D075EC30
, 4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AA16
, 4F041AB01
, 4F041BA10
, 4F041BA13
, 4F041BA22
, 4F041BA38
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042AA27
, 4F042AB00
, 4F042BA08
, 4F042DH09
引用特許:
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