特許
J-GLOBAL ID：200903061088579105
ウエーハのめっき用ラック及びそれを用いためっき方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高月 猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-036147
公開番号（公開出願番号）：特開平7-243098
出願日： 1994年03月07日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】ウエーハのめっき処理について、ウエーハ1枚当たりのめっき液の使用量の節減や装置全体の小型化、さらにはめっき槽やめっき液供給機構などの装置要素の簡易化を図れるようにする。【構成】保持対象のウエーハWの周縁部を一定の幅で支持するための支持面4fを有する環状の支持部材4、及びこの支持部材に支持されたウエーハの裏面をめっき液からシールするためのシール機構5よりなる複数の保持ユニット3をそれぞれの支持部材の周縁を介して複数本の支柱2により多段状態に支持させてなる構造のめっき用ラックを用い、その保持ユニットの数に応じた枚数のウエーハを1個のラックについて同時処理できるようにしている。
請求項（抜粋）：
めっき液にめっき対象面を選択的に接触させる状態でウエーハを保持するめっき用ラックにおいて、保持対象のウエーハの周縁部を一定の幅で支持するための支持面を有する環状の支持部材、及びこの支持部材に支持されたウエーハの裏面をめっき液からシールするためのシール機構よりなる複数の保持ユニットをそれぞれの支持部材の周縁を介して複数本の支柱により多段状態に支持させてなることを特徴とするめっき用ラック。
IPC (5件)：
C25D 17/08
, C25D 5/02
, C25D 7/12
, H01L 21/68
, H01L 21/321
