特許

J-GLOBAL ID：200903061094812024

レジスト塗布方法

発明者： 松村 光芳
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-057206
公開番号（公開出願番号）：特開平7-273001
出願日： 1994年03月28日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】 レジストを塗布すべき対象物にスピンコートによりレジストを塗布するときに、簡単な手段で確実にその対象物のエッジ部の下側へのレジストの回り込みを防止することができるレジスト塗布方法を提供する。【構成】 レジストを塗布すべき基板aの表面の周縁部に、レジストとの密着性の悪い薬剤による塗膜bを形成し、この状態でスピンコートにより基板の表面にレジストを塗布する。

請求項（抜粋）：

レジストを塗布すべき対象物の表面の周縁部に、レジストとの密着性の悪い薬剤を塗布し、この状態でスピンコートにより前記対象物の表面にレジストを塗布することを特徴とするレジスト塗布方法。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  B05D 1/40 ,  G02F 1/1333 500 ,  G03F 7/16 502

FI (2件)：

H01L 21/30 577 ,  H01L 21/30 564 D