特許
J-GLOBAL ID：200903061096651575
液体噴射ヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-374607
公開番号（公開出願番号）：特開2004-202849
出願日： 2002年12月25日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：
【課題】圧電素子及び振動板の変位量の変動が抑えられ安定したインク吐出特性が得られる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドの製造方法において、圧力発生室を形成する工程後に、実使用時よりも高電圧且つ高周波数の駆動信号を圧電素子に所定パルス数印加し、圧電体層に実使用時よりも高い電界強度を発生させて圧電素子を駆動するエージング工程を設けることにより、実使用時の圧電素子及び振動板の変位量の変動を抑える。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記圧力発生室を形成する工程後に、実使用時よりも高電圧且つ高周波数の駆動信号を前記圧電素子に所定パルス数印加し、前記圧電体層に実使用時よりも高い電界強度を発生させて当該圧電素子を駆動するエージング工程を有することを特徴とする液体噴射ヘッドの駆動方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
2C057AF93
, 2C057AM16
, 2C057AM21
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP82
, 2C057AQ02
, 2C057BA03
, 2C057BA14
