特許
J-GLOBAL ID：200903061111917765
光学装置
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三俣 弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-153696
公開番号（公開出願番号）：特開2000-010028
出願日： 1999年06月01日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：
【要約】【課題】 干渉計スイッチの性能限界の多くを回避するスイッチング機能をシリコンオプティカルベンチ(SiOB)デバイスに提供することができるマイクロオプトエレクトロメカニカルシステム(MOEMS)デバイスを実現する。【解決手段】 MOEMSデバイスは、マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)デバイス502と、基板500および少なくとも1つの光デバイスを含むオプティカルベンチ(OB)デバイスを有する。OBデバイス基板は、例えば、シリコンまたはガラスである。MEMSデバイス502は、OBデバイスに対して、スイッチングなどの機械的、電気機械的または電気的機能を提供することが可能である。実施例では、MEMSデバイス502は、光インタラプタ514に機械的に結合したアクチュエータを有する。光インタラプタ514は、入射する光信号522の少なくとも一部の伝搬を阻止する。
請求項（抜粋）：
マイクロエレクトロメカニカルデバイスを有する第1基板と、該第1基板の第1表面上に配置された複数の第1ボンディングサイトとを含むマイクロエレクトロメカニカルシステムチップと、光デバイスを有する第2基板と、該第2基板の第1表面上に配置された複数の第2ボンディングサイトとを含むオプティカルベンチチップとからなる光学装置において、前記第1基板と前記第2基板は、各基板の第1表面どうしが間隔をおいて対向するようにそれぞれの第1ボンディングサイトと第2ボンディングサイトの間で接着され、前記マイクロエレクトロメカニカルデバイスと前記光デバイスは、機械的または電磁的に相互作用することを特徴とする光学装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 26/02 A
, G02B 6/12 H
