特許

J-GLOBAL ID：200903061114527704

圧力隔壁およびこれを用いたX線露光装置

発明者： 長谷川 隆行 ,  坂本 英治
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-058422
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239500
出願日： 1997年02月26日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】 機械的強度が充分で、しかも薄肉のX線取り出し窓を実現する。【解決手段】 ビームダクト2から露光室1へX線を取り出すためのX線取り出し窓E1 のベリリウム箔11の厚さは、ビームダクト2と露光室1の圧力差によってベリリウム箔11がたわむときにその中央に発生する引張り応力に基づいて設計される。フランジ12とベリリウム箔11の接触部で中央より大きな引張り応力が発生するのを防ぐために、フランジ12の内周縁に大きな曲率半径を有する湾曲部12aを設ける。

請求項（抜粋）：

所定の空間を2つの空間部に分割する薄膜と、該薄膜をその外周部において支持する支持手段を有し、該支持手段が、前記薄膜の前記外周部を所定の湾曲面に沿って湾曲させる湾曲支持部を備えていることを特徴とする圧力隔壁。

IPC (4件)：

G21K 5/00 ,  G03F 7/20 503 ,  H01L 21/027 ,  H05H 13/04

FI (4件)：

G21K 5/00 W ,  G03F 7/20 503 ,  H05H 13/04 U ,  H01L 21/30 531 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-108699