特許
J-GLOBAL ID：200903061114988752
弾性表面波コンボルバ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-183907
公開番号（公開出願番号）：特開平10-032464
出願日： 1996年07月15日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：
【要約】【課題】表面に二つのトランスデューサと出力電極とを備えた酸化亜鉛を圧電体層とする弾性表面波(SAW)コンボルバにおいて、出力の増大を図る。【解決手段】シリコン基板11上にTiO2 、BaTiO3 等の高誘電率層18を設け、拡散防止用の酸化シリコン層19を介して、圧電体層12を積層し、その表面に櫛歯電極対13、出力電極14を形成する。
請求項（抜粋）：
ZnOからなる圧電体層の表面に、弾性表面波を励振する2つのトランスデューサと、その中間に配して弾性表面波のコンボリューション出力を電気信号として取り出す出力電極とを備え、反対方向から伝播する二つの弾性表面波の非線型相互作用によって信号処理をおこなう弾性表面波コンボルバにおいて、前記圧電体層の下に、シリコンより誘電率の高い高誘電率層を設けることを特徴とする弾性表面波コンボルバ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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