特許
J-GLOBAL ID：200903061116028152
環境制御型走査型透過電子線観察装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-083563
公開番号（公開出願番号）：特開平10-283962
出願日： 1997年04月02日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】 含水試料をあるがままの状態に保ちながら、試料内部の状態を観察できる電子線観察装置を提供する。【解決手段】 試料室内を低真空のガス雰囲気に保ち、試料を保持する試料ホルダーに、試料を載置するメッシュホルダーと、試料温度を制御するペルチエ素子を配置し、前記メッシュホルダーの下方に試料を透過した透過電子を検出する透過電子検出器を配置する。
請求項（抜粋）：
1次電子線を発生させる電子銃を収納する高真空の電子銃室と、試料を保持する試料ホルダーを収納する低真空のガス雰囲気を保った試料室と、を備えた環境制御型走査型透過電子線観察装置において、前記試料ホルダーは、試料を載置するメッシュホルダーと、試料温度を制御するペルチエ素子を有し、前記試料室は、試料を透過した透過電子を検出する透過電子検出器を収納する、ことを特徴とする環境制御型走査型透過電子線観察装置。
FI (2件)：
H01J 37/20 A
, H01J 37/20 E
