特許
J-GLOBAL ID：200903061118391068
反射防止膜、光学部材、光学系及び投影露光装置、並びに反射防止膜の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐野 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-094723
公開番号（公開出願番号）：特開2004-302113
出願日： 2003年03月31日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
【課題】短波長の光に対する角度特性を向上し易いと同時に、積層数を抑えることが可能な反射防止膜を提供する。【解決手段】複数層が積層され、入射媒質に接する第1層の屈折率が1.3以下であり、2層構造乃至6層構造にした。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
基材上に積層された屈折率の異なる2つの層からなる反射防止膜であって、前記基材の屈折率をnsub、入射媒質側から前記基材側までの各層の屈折率をn1,n2、光学膜厚をd1,d2、λ0を設計中心波長としたとき、以下の条件を満たすことを特徴とする反射防止膜。
IPC (3件)：
G02B1/11
, B32B7/02
, H01L21/027
G02B1/10 A
, B32B7/02 103
, H01L21/30 515D
2K009AA05
, 2K009AA06
, 2K009AA07
, 2K009AA08
, 2K009AA09
, 2K009BB01
, 2K009BB02
, 2K009CC06
, 2K009DD02
, 2K009DD03
, 4F100AA02C
, 4F100AA20
, 4F100AT00A
, 4F100BA03
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10C
, 4F100GB41
, 4F100GB90
, 4F100JN18B
, 4F100JN18C
, 4F100JN30
, 4F100YY00B
, 4F100YY00C
, 5F046BA03
, 5F046CA08
, 5F046CB12
