特許
J-GLOBAL ID:200903061119186875

光反射体検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鎌田 久男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-018877
公開番号(公開出願番号):特開2002-221494
出願日: 2001年01月26日
公開日(公表日): 2002年08月09日
要約:
【要約】【課題】 例えば、ホログラムのような光反射体について、その大きさにかかわらず、検査することができる光反射体検査装置を提供する。【解決手段】 所定の入射角度で入射された光を一定の角度で反射する光反射体20の欠陥を検査する光反射体検査装置であって、光反射体20に照射する光を発生する光源11aと、光源11aの光の進行方向を特定の方向に揃えて光反射体20に照射する光方向規制手段11bと、光方向規制手段11bから照射され、光反射体20で反射した光を撮像する撮像手段12と、撮像手段12が撮像した画像を、基準画像と比較して、欠陥を検査する検査処理手段13とを備える。
請求項(抜粋):
所定の入射角度で入射された光を一定の角度で反射する光反射体の欠陥を検査する光反射体検査装置であって、前記光反射体に照射する光を発生する光源と、前記光源の光の進行方向を特定の方向に揃えて前記光反射体に照射する光方向規制手段と、前記光方向規制手段から照射され、前記光反射体で反射した光を撮像する撮像手段と、前記撮像手段が撮像した画像を、基準画像と比較して、欠陥を検査する検査処理手段とを備えることを特徴とする光反射体検査装置。
IPC (3件):
G01N 21/892 ,  G01N 21/84 ,  G03H 1/02
FI (3件):
G01N 21/892 A ,  G01N 21/84 Z ,  G03H 1/02
Fターム (13件):
2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051BB01 ,  2G051BB09 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2K008AA00 ,  2K008CC01 ,  2K008EE04 ,  2K008HH01 ,  2K008HH06

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