特許

J-GLOBAL ID：200903061119267530

液状物質塗布ノズルおよびこれを用いた液状物質塗布装置並びにこの装置を利用したTFTアレイ基板の製造方法

発明者： 窄口 哲也 ,  高橋 勝徳
出願人/特許権者： 株式会社アドバンスト・ディスプレイ
代理人 (1件)： 大岩 増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-336929
公開番号（公開出願番号）：特開平11-165109
出願日： 1997年12月08日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：

【要約】【課題】 液状物質を基板上に均一に塗布することが可能な液状物質塗布ノズルを提供し、露光処理されたレジスト膜に現像液を塗布する際に、細管の詰まりによる現像不良を防止し、さらに細管の詰まりによる現像不良を早期に発見する。【解決手段】 液溜め部1より現像液5を供給される個々の現像液供給管2に対し、2本ずつの細管3a、3bを、それぞれより吐出される現像液5が合流するように適当な角度をもって設けることにより、細管3bが異物6等により詰まった場合にも、もう片方の細管3aにより現像液5が塗布され、現像ムラ、気泡等による現像不良を防止することができる。さらに、片方の細管3aまたは3bが詰まった場合に、現像液5の吐出方向が変わるため、目視観察で詰まっている箇所が発見でき、現像不良の早期発見が可能となり、TFTアレイ基板の歩留まりが向上する。

請求項（抜粋）：

液状物質の流路に設けられた液溜め部に接続され、一列に並列配置された複数の液状物質供給管、上記個々の液状物質供給管に対して複数本ずつ接続され、上記液状物質の吐出口を有する細管を備えたことを特徴とする液状物質塗布ノズル。

IPC (5件)：

B05C 5/02 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/16

FI (6件)：

B05C 5/02 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/136 500 ,  G03F 7/16 ,  H01L 21/30 569 F ,  H01L 21/30 569 A