特許
J-GLOBAL ID：200903061130837071
表面仕上げ装置付き両面研磨機
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-029243
公開番号（公開出願番号）：特開平7-237113
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【構成】 定盤部10,30の表面を表面切削具46で旋削したのち、傾斜角度調整装置60の操作による表面仕上げ装置40の傾きの微調整と、変位センサー65による定盤部表面の平面度形状に対する表面仕上げ装置40の傾き測定とにより、表面仕上げ装置40を所定の傾きにし得る。所定の傾きの測定値を確認したのち、表面切削具46により定盤部10,30の表面に対する最終の旋削を行う。【効果】 表面仕上げ装置を所定の傾きにした後、定盤部の表面に対する旋削を行うことで、定盤部の表面を、容易かつ正確に所定の形状に仕上げることができ、しかも旋削の回数を減少できて、定盤部の消耗を少なくできるとともに、表面仕上げの作業時間を短縮できる。
請求項（抜粋）：
各別に回転自在に設けられた下側定盤部および上側定盤部を有するとともに、この上側定盤部の回転軸心に対する傾きを規制する規制治具を具備し、両定盤部間で表面切削具を移動自在とした表面仕上げ装置付き両面研磨機であって、表面仕上げ装置は、両面研磨機の機枠に配設した架台と、この架台上に配設されかつ両定盤部間でその回転半径方向に移動自在な移動体と、この移動体を移動させる移動装置と、前記移動体に設けられた表面切削具とから構成し、前記架台は傾斜角度調整装置を介して機枠に配設するとともに、前記移動体側に変位センサーを設けたことを特徴とする表面仕上げ装置付き両面研磨機。
IPC (3件)：
B24B 37/00
, B24B 37/04
, H01L 21/304 321
