特許

J-GLOBAL ID：200903061138293569

垂直にナノ相互接続された回路デバイスからなる製品及びその製造方法

発明者： ウォルター エル ブラウン ,  スンゴ ジン ,  ウェイ ズ
出願人/特許権者： ルーセント テクノロジーズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外12名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-324945
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141633
出願日： 2000年10月25日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】 等長ナノワイヤ及び該ナノワイヤを用いて垂直に相互接続された回路デバイスを提供する。【解決手段】 少なくとも2つの回路層と、該回路層間に配置された複数の等長ナノワイヤとを有する垂直に相互接続された回路デバイスにより解決される。ナノワイヤは、その長さに沿って存在するヘテロ接合を有する複合物からなり、多数のデバイス用途に使用できる。回路デバイスの製造方法は、(a)複数のナノワイヤを除去可能な基板上に成長させるステップと、(b)ナノワイヤの長さを均等化させ、複数のナノワイヤの各々の長さを概ね等しくするステップと、(c)移送し、複数のナノワイヤの露出端部を第1の回路層に接合させるステップと、(d)基板を除去するステップとからなる。第1の回路層に接合されたナノワイヤを第2の回路層へ更に接合させることにより垂直に相互接続された回路デバイスを形成できる。

請求項（抜粋）：

少なくとも2つの回路層と、該少なくとも2つの回路層間に配置され、かつ、該少なくとも2つの回路層を電気的に相互接続する、複数の概ね等しい長さのナノワイヤとからなる回路デバイスを有することを特徴とする製品。

IPC (7件)：

H05K 1/14 ,  B82B 1/00 ,  B82B 3/00 ,  H01L 23/52 ,  H05K 3/36 ,  C01B 31/02 101 ,  C23C 16/26

FI (7件)：

H05K 1/14 H ,  B82B 1/00 ,  B82B 3/00 ,  H05K 3/36 Z ,  C01B 31/02 101 F ,  C23C 16/26 ,  H01L 23/52 C

Fターム (20件)：

4G046CA02 ,  4G046CB01 ,  4G046CC06 ,  4G046CC08 ,  4K030AA09 ,  4K030BA27 ,  4K030BB00 ,  4K030DA02 ,  4K030DA08 ,  4K030JA01 ,  5E344AA01 ,  5E344AA22 ,  5E344BB02 ,  5E344BB06 ,  5E344CD13 ,  5E344CD14 ,  5E344DD02 ,  5E344DD05 ,  5E344EE11 ,  5E344EE21