特許
J-GLOBAL ID:200903061140372239
研磨テ-プ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高岡 一春
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-235528
公開番号(公開出願番号):特開平5-008179
出願日: 1991年08月21日
公開日(公表日): 1993年01月19日
要約:
【要約】【目的】 可とう性基体上に、研磨砥粒を結合剤樹脂で結着してなる研磨塗膜層を設けた研磨テープにおいて、研磨塗膜層中に10〜60容量%の気孔を設けて、被研磨物表面にスクラッチ傷を発生させることなく、全長に渡って均一な研磨能力を発揮させる。【構成】 可とう性基体上に、研磨砥粒を結合剤樹脂で結着してなる研磨塗膜層を設けた研磨テープにおいて、研磨塗膜層中に10〜60容量%の気孔を設けた研磨テープ
請求項(抜粋):
可とう性基体上に、研磨砥粒を結合剤樹脂で結着してなる研磨塗膜層を設けた研磨テープにおいて、研磨塗膜層中に10〜60容量%の気孔を設けたことを特徴とする研磨テープ
IPC (2件):
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特公昭53-044714
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特開昭63-007271
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