特許
J-GLOBAL ID：200903061141563437
Ti▲下1-x▼A1▲下x▼Nコーティングを形成する方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 恵一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-530663
公開番号（公開出願番号）：特表2000-505507
出願日： 1997年02月25日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：
【要約】部品の上にTi1-xAlxNのコーティングを形成する方法に関し、CVDチェンバを250-500°Cに加熱し、550-650°Cに加熱されたコーティング対象の部品を上記チェンバに配置する。チタニウムとアルミニウムの塩化物、NH3、H2の混合物をチェンバに注人する。NH3のモル量は塩化物のモル量より大で、水素のモル量は塩化物のモル量の5倍以上である。
請求項（抜粋）：
CVDチェンバを250°Cと500°Cの間の温度に加熱する工程と、 コーティング対象の部品を550-650°Cの温度で前記チェンバに配置する工程と、 アルミニウムとチタニウムの塩化物、NH3及びH2の混合体を、NH3のモル量が塩化物のモル量より高く、水素のモル量が塩化物のモル量より5倍以上高くなるように、前記チェンバに注人する工程とを有することを特徴とする、部品の上にTi1-xAlxNのコーティングを形成する方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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