特許
J-GLOBAL ID:200903061143124104

バー塗布方法および塗布装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-147247
公開番号(公開出願番号):特開平5-337411
出願日: 1992年06月08日
公開日(公表日): 1993年12月21日
要約:
【要約】【目的】 液晶テレビ等に使用されるカラーフィルタ材料を、ガラス基板等の非連続性基板に、バーを用いて塗布する場合に、塗布基板の膜厚平坦範囲を広げ、かつ基板後端部の膜厚上昇を低く抑えることのできる塗布方法および塗布装置を提供する。【構成】 基板後端部を塗布する際に、圧力調整装置21により塗布液パンの中の塗布液を補助タンク19に移動させ、塗布液の液面をバーに対して一時的に下げる。その結果、バー後部の液溜り18も同時に流下し、液溜り量が減少することにより基板後端部に付着する塗布液が少なくなり、基板後端部の膜厚分布が改善される。均一な膜厚の範囲が広いため、カラーフィルタ材料の塗布にこの方法を用いれば、液晶テレビの画面全体均一な画像を得ることができる。
請求項(抜粋):
非連続性基板に対し、塗布液中に一部浸されたバーを用いて塗布する方法において、塗布終了時に、バーが浸されている部分の塗布液の液面を、バーに対して一時的に下げることを特徴とするバー塗布方法。
IPC (4件):
B05C 1/02 102 ,  B05D 1/28 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505

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