特許

J-GLOBAL ID：200903061143239122

ダブルテープ式アパチャーグリルの検査方法

発明者： 小笠原 修一
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 山本 正緒
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-110782
公開番号（公開出願番号）：特開2002-313233
出願日： 2001年04月10日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
要約：

【要約】【課題】 アパチャーグリルを2層に重ね合わせた構造を有し、電気めっき法により製造されたダブルテープ式アパチャーグリルについて、重ね合わされたテープ部の分離状態を確実に且つ効率良く判定する検査方法を提供する。【解決手段】 2層のアパチャーグリル層の間に別の金属層を挟んで形成した積層めっき被膜の該中間金属層を溶解除去し、得られたダブルテープ式アパチャーグリルの一面側に光源を設置して、いずれか片方のアパチャーグリルのテープ部を粘着テープ等で保持して該テープ部の長さ方向に対し直交方向に移動させながら、スリット部を透過する光の干渉縞を観察することによって、重ね合わされたテープ部の分離状態を判定する。

請求項（抜粋）：

多数のテープ部とスリット部で構成されるアパチャーグリルを2層に重ね合わせた構造を有するダブルテープ式アパチャーグリルの検査方法であって、2層のアパチャーグリル層の間に別の中間金属層を挟んで形成した積層めっき被膜の該中間金属層を溶解除去した後、得られたダブルテープ式アパチャーグリルの一面側に光源を設置し、いずれか片方のアパチャーグリルのテープ部を該テープ部の長さ方向に対し直交方向に移動させながら、スリット部を透過する光の干渉縞を観察することによって、重ね合わされたテープ部の分離状態を判定することを特徴とするダブルテープ式アパチャーグリルの検査方法。

IPC (4件)：

H01J 9/42 ,  C25D 1/08 ,  G01N 21/84 ,  H01J 9/14

FI (4件)：

H01J 9/42 A ,  C25D 1/08 ,  G01N 21/84 Z ,  H01J 9/14 G

Fターム (9件)：

2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051BA20 ,  2G051CA11 ,  2G051CB02 ,  5C012AA02 ,  5C012BE03 ,  5C027HH02 ,  5C027HH29