特許

J-GLOBAL ID：200903061147352772

圧電デバイス

発明者： 平沢 憲也
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 梅田 明彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-044936
公開番号（公開出願番号）：特開2004-254234
出願日： 2003年02月21日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：

【課題】パッケージ内部を確実かつ良好に気密封止できる表面実装型圧電デバイスをより一層の薄型化・低背化可能にする。【解決手段】水晶振動片14を搭載した水晶振動子のパッケージ13は、セラミック薄板からなる底板部15の上にセラミック薄板からなる枠部16を一体に接合した2層構造の箱型ベース11と、その上部に接合された金属薄板の蓋12とからなり、枠部16上面に開口してベース裏面まで貫通する封止孔21を有する。封止孔は、ベースに設けられた大径部21aとこれに連続して枠部に設けられた小径部21bとからなり、これら大径部と小径部との段差付近にメタライズ部24を利用して封止材22を溶着させることにより閉塞され、パッケージ内部が所望の真空又はガス雰囲気で気密に封止される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

圧電振動片と、絶縁材料からなる箱型のベース及び前記ベースの上部に接合される平板状の蓋を有し、その内部に前記圧電振動片を気密に封止するパッケージとを備え、 前記ベースが、平板状の底板部と、前記圧電振動片を収容するための空所を画定するべく前記底板部の上に積層される枠部とからなり、かつ前記底板部の裏面から前記枠部の上面まで貫通する封止孔を有し、 前記封止孔が、前記ベースに設けられた大径部とこれに連続して前記枠部に設けられた小径部とからなり、前記大径部と前記小径部との段差付近で溶融金属により気密に封止されていることを特徴とする圧電デバイス。

IPC (3件)：

H03H9/10 ,  H01L23/02 ,  H03H9/02

FI (4件)：

H03H9/10 ,  H01L23/02 G ,  H03H9/02 A ,  H03H9/02 L

Fターム (15件)：

5J108AA00 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108GG03 ,  5J108GG07 ,  5J108GG13 ,  5J108GG17 ,  5J108GG20 ,  5J108GG21 ,  5J108JJ01 ,  5J108KK04 ,  5J108KK07