特許
J-GLOBAL ID:200903061150505580
改良されたレーザー融蝕性材料
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
社本 一夫 (外5名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-526446
公開番号(公開出願番号):特表平11-502060
出願日: 1996年02月27日
公開日(公表日): 1999年02月16日
要約:
【要約】本発明は、可視光線レーザー放射によって融蝕可能なプラズマ蒸着ポリマー(PDP)の層で集積回路(3)を被覆する方法を開示する。
請求項(抜粋):
可視光線レーザー放射によって融蝕可能なプラズマ蒸着ポリマー(PDP)層で被覆された集積回路。
IPC (4件):
H01L 21/312
, H01L 21/203
, H01L 21/302
, H01L 21/768
FI (4件):
H01L 21/312 D
, H01L 21/203 Z
, H01L 21/302 Z
, H01L 21/90 S
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