特許

J-GLOBAL ID：200903061154265567

表面電荷密度測定装置

発明者： 松井 勉
出願人/特許権者： 日本電気エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-296131
公開番号（公開出願番号）：特開平8-152449
出願日： 1994年11月30日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：

【要約】【目的】 局部的に帯電している被測定物の表面電荷密度の測定誤差を小さくすること。【構成】 ガード電極16を設けた電極11を、帯電した被測定物18に近づけることにより、電極11に静電誘導を引き起こさせ、そこで生じた電荷をコンデンサ13に蓄え、その充電電圧から被測定物の表面電荷密度を求める。

請求項（抜粋）：

表面が平坦な被測定物をはさんで対向配置される一対の電極と、該一対の電極に接続されたコンデンサと、該コンデンサの充電電圧を測定する手段と、前記コンデンサに並列に接続されたスイッチとを含み、前記一対の電極の一方をアースし、他方の電極の周縁部には該他方の電極と絶縁し、かつアースしたガード電極を設けたことを特徴とする表面電荷密度測定装置。